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大負(fù)載壓電直線位移臺(tái)產(chǎn)品概述
“Force系列"直線位移臺(tái) — LS65x.Force
產(chǎn)品特色
· 高性能驅(qū)動(dòng)力
· 直驅(qū)傳動(dòng)無(wú)間隙
· 大負(fù)載垂直提升
· 優(yōu)異的導(dǎo)向系統(tǒng)
· 閉環(huán)控制,內(nèi)置光柵位置傳感器
· 完整運(yùn)動(dòng)臺(tái)設(shè)計(jì),方便安裝使用
產(chǎn)品圖片&尺寸

產(chǎn)品參數(shù)
1 | 可選版本 | .NM,絕**磁版本;.HV,高真空版本;.UHV,超高真空版本 |
2 | 外形尺寸 | 65 × 65 × 20 mm |
3 | 主體材料 | 標(biāo)準(zhǔn)版、.HV、.UHV 鋼:550 g;.NM 鈦合金,陶瓷:300 g |
4 | 運(yùn)動(dòng)行程 | 30 mm(*長(zhǎng) 100 mm 可選) |
5 | 速度范圍 | 默認(rèn):0.1 mm/s ~ 1 mm/s;.HV & .UHV 版本:推薦使用 0.3 mm/s |
6 | 驅(qū)動(dòng)力 | 30 N |
7 | 保持力 | 40 N |
8 | 水平方向使用*大負(fù)載 | 5 kg |
9 | 豎直方向使用*大負(fù)載 | 3 kg |
10 | 雙向重復(fù)定位精度 | ± 125 nm |
11 | 全程俯仰 / 偏擺 | 0.3 mrad |
12 | *小步伐(開(kāi)環(huán)) | 2 nm |
13 | *小步伐(閉環(huán)) | 5 nm |
14 | 傳感器類型 | 光學(xué)位置傳感器 |
15 | 位置傳感器分辨率 | 2 nm |
16 | 線纜 & 接頭 | 默認(rèn):屏蔽線纜 D–Sub15;.UHV 版本:Kapton 漆包線,D–Sub15 (PEEK) |
17 | 控制器規(guī)格 | MC–LuZhishen 系列 |
“Force系列"直線位移臺(tái) — LS105x.Force
產(chǎn)品特色
· 高性能驅(qū)動(dòng)力
· 直驅(qū)傳動(dòng)無(wú)間隙
· 大負(fù)載垂直提升
· 優(yōu)異的導(dǎo)向系統(tǒng)
· 閉環(huán)控制,內(nèi)置光柵位置傳感器
· 完整運(yùn)動(dòng)臺(tái)設(shè)計(jì),方便安裝使用
產(chǎn)品圖片&尺寸
大負(fù)載壓電直線位移臺(tái)產(chǎn)品參數(shù)
1 | 可選版本 | .NM,絕**磁版本;.HV,高真空版本;.UHV,超高真空版本 |
2 | 外形尺寸 | 105 × 105 × 30 mm |
3 | 主體材料 | 標(biāo)準(zhǔn)版、.HV、.UHV 鋼:2 kg;.NM 鈦合金,陶瓷:1.2 kg |
4 | 運(yùn)動(dòng)行程 | 60 mm(*長(zhǎng) 200 mm 可選) |
5 | 速度范圍 | 默認(rèn):0.1 mm/s ~ 1 mm/s;.HV & .UHV 版本:推薦使用 0.3 mm/s |
6 | 驅(qū)動(dòng)力 | 60 N |
7 | 保持力 | 80 N |
8 | 水平方向使用*大負(fù)載 | 10 kg |
9 | 豎直方向使用*大負(fù)載 | 6 kg |
10 | 雙向重復(fù)定位精度 | ± 125 nm |
11 | 全程俯仰 / 偏擺 | 0.2 mrad |
12 | *小步伐(開(kāi)環(huán)) | 2 nm |
13 | *小步伐(閉環(huán)) | 5 nm |
14 | 傳感器類型 | 光學(xué)位置傳感器 |
15 | 位置傳感器分辨率 | 2 nm |
16 | 線纜 & 接頭 | 默認(rèn):屏蔽線纜 D–Sub15;.UHV 版本:Kapton 漆包線,D–Sub15 (PEEK) |
17 | 控制器規(guī)格 | MC–LuZhishen 系列 |
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