
產品簡介

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半導體缺陷檢測:自動化顯微成像模組
針對半導體集成電路工藝線從表面缺陷檢查到圖形尺寸測量等各環(huán)節(jié)自動化視覺檢測需求。

產品特性和核心技術:
激光自動聚焦:
·自主研制的激光輔助離焦量傳感器。
·可在無圖案晶圓上實現精確自動聚焦和表面跟蹤。
·輔以圖形邊緣識別,實現雙模式自動調焦。
明場成像和照明系統(tǒng):
·自主研制的小型化科勒照明系統(tǒng)。
·照明視場均勻、無暗角,成像視場中心和邊角均有高對比度和解析度。
全自動操作:
·全軟件控制,自動調焦、尋區(qū)、切換物鏡……
供應鏈國產可控。
性能參數:
激光自動聚焦

顯微成像

不同倍數物鏡下典型成像效果

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